作为目前西方世界上唯一能够生产最先进euv光刻机的制造商,as-ml哪怕已经掌握了5纳米甚至是3纳米这种极其先进半导体制程的核心光刻机。但是在它发展的过程中,却也并非一帆风顺。
按照历史来看,有些魔幻的是,在2006年之前,全世界半导体霸主还是一个叫做尼康的企业。
霓虹的尼康公司在上世纪八十年代推出了光刻机nsr-1010g和商用的步进式光刻机stepper,成为80年代半导体光刻机产业的翘楚,一时间霓虹在科技产业上有了明日之星的范。
“十分巧合”的是,同年代,荷兰飞利浦公司与一家荷兰芯片设备代理商合资成立了 as-ml。
成立之初,as-ml只有账面上的几十个员工,办公地点也是传说中的简易厂房。
而后这家不被人看好的公司,在成立的第一年就能神奇的开发出第一代的步进式扫描光刻机pas2000,并且以此十分顺利的争取到市场订单。
等到九十年代,as-ml更是直接在北美的纳斯达克以及荷兰阿姆斯特丹交易所进行同步上市,而且还成功了。
并且在上市成功之后,as-ml不仅赚了大钱,还十分果断的从飞利浦手中回购了全部的股份,实现真正意义上的完全独立。
随后在2004年as-ml研发出了第一台浸润式光刻机样机,并且极其顺利的先后拿下ibm和台积电等国际主流大客户的订单。
在成为国际顶级的光刻机巨头之后,as-ml又一次“十分幸运”的接收到了euv遗产。
这个事情还要从1997年英特尔和美利坚能源部牵头成立euv llc联盟的时候说起。
当时euv技术发展缓慢,并且需要的资源太多,所以在“公平公开”的竞争当中,美利坚最终选择了当时技术储备还不强的as-ml加入euv联盟。
asml由此获得了美利坚甚至是世界上最领先的半导体技术、材料学、光学以及精密制造等相关技术的优先使用的资格,同时as-ml也十分“懂规矩”的将自己的生产、接受监管的权限交给了山姆大叔政-府。
数年时间,euv llc联盟的研发人员发表了数百篇论文,大幅推进了euv技术的研究进展,证明了euv光刻技术的可行。
但就在果实即将成熟的时候,euv llc联盟竟然神奇的解散了。
而联盟的成果,则被英特尔和as-ml进行了瓜分,从联盟解散的世纪之初,到2010年,as-ml吸收完联盟遗产,并且在美利坚资本和政-府的大力帮助下,成功生产出第一台euv光刻机——nxe3100的euv光刻机,,并且将其交付给了台积电进行芯片代工生产。
至此,全球硅基半导体便以as-ml马首是瞻,其每年生产的光刻机都是各大半导体企业竞相追捧的宝贝。
美利坚也成功实现掌控半导体领域的目的。
左手有顺从贴心的as-ml,可以轻松遏制全球任何一个半导体芯片代工企业。右手有资本主导的英特尔,控制着每一台计算机的核心cpu。
哪怕是之后有amd这个新人,但追根溯源,amd掌握的技术也是美利坚的果子,所以也是一家人。
甚至为了断绝后来者的发展之路,as-ml在2012年还提出一个“客户联合投资计划”,简称为ccip。
简单来说,就是接受客户的注资,客户成为股东的同时拥有优先订货权。
这样不仅使as-ml能够拥有大量资金进行研发,同时也保证了客户对先进光刻技术的优先使用权。
当时的半导体行业三大龙头:英特尔、台积电、韩星,自然是纷纷响应,不敢不从。
英特尔斥资41亿美元收购荷兰芯片设备制造商阿斯麦公司的15%股权,另出资10亿美元,支持阿斯麦加快开发成本高昂的芯片制造科技。台积电投资8.38亿欧元,获取阿斯麦公司约5%股权。韩星斥资5.03亿欧元购得3%股权,并额外注资2.75亿欧元合作研发新技术。